BOB半岛:全世界最灵敏的“秤”在这儿

　　近期，位于嘉定区菊园新区的中国科学院上海微系统与信息技术研究所李昕欣团队采用微电子机械系统（MEMS）工艺，首创一项基于微机械悬臂梁结构的谐振测量芯片技术，制造出目前世界上最灵敏的“秤”，其质量分辨率达到亚皮克级（即10-13克）水平。

　　新材料研发所需的科学仪器，不仅要具备极低的检测限，还要集成实时测量、快速精准控温等功能。对此，团队在芯片的MEMS微悬臂梁上集成了谐振激励器件、频率读出电路和样品程序升温加热与控温元件，能够在超快速程序变温过程中原位、实时、连续地测量极微小质量变化。当与顶端样品区待测材料作用的分子数目变化时，悬臂梁谐振频率也会随之变化，继而换算出质量变化值，成功破解仪器测量难题。

　　更难能可贵的是，该芯片可通过MEMS工艺进行晶圆级的低成本规模制造，满足大批量应用需求。目前，团队自主研发的系列高端科学仪器已远销至发达国家的多个科学实验室，为我国高端科学仪器走向世界，迈出了坚实的一步。